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層流差壓式質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器MFC: -- ACU20FC采用無(wú)熱漂移,無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理,可以同時(shí)顯示和輸出:瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。 -- 當(dāng)需要控制功能時(shí),還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。 -- 與熱式流量計(jì)不同,當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí),ACU20FC沒(méi)有附加的“比熱容”誤差 。所以,即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同,也不會(huì)影響測(cè)量精度。
帶殘夜、高濕度氣體質(zhì)量流量計(jì)及控制器MFC: -- ACU20FC采用無(wú)熱漂移,無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理,可以同時(shí)顯示和輸出:瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。 -- 當(dāng)需要控制功能時(shí),還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。 -- 與熱式流量計(jì)不同,當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí),ACU20FC沒(méi)有附加的“比熱容”誤差 。所以,即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同,也不會(huì)影響測(cè)量精度。
高精度層流壓差氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì): -- ACU20FC采用無(wú)熱漂移,無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理,可以同時(shí)顯示和輸出:瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。 -- 當(dāng)需要控制功能時(shí),還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。 -- 與熱式流量計(jì)不同,當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí),ACU20FC沒(méi)有附加的“比熱容”誤差 。所以,即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同,也不會(huì)影響測(cè)量精度。
可顯示壓力及溫度的質(zhì)量流量計(jì)及控制器MFC: -- 采用無(wú)熱漂移,無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理,可以同時(shí)顯示和輸出:瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。 -- 當(dāng)需要控制功能時(shí),還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。 -- 與熱式流量計(jì)不同,當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí),ACU20FC沒(méi)有附加的“比熱容”誤差 。所以,即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同,也不會(huì)影響測(cè)量精度。
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