當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 氣體 質(zhì)量流量計(jì)/控制器 > 高精度質(zhì)量流量計(jì)/控制器 > ACU20FDH半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器
簡(jiǎn)要描述:半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器:◆精度更高,響應(yīng)更快,帶網(wǎng)口;◆管狀分流,不易堵塞;◆適用于各種低壓和高壓管道;◆預(yù)熱時(shí)間短,零漂小,可靠性高;◆模擬量可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量;◆數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選。
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背景簡(jiǎn)述:
-- 半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊
材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。
一、ACU20FD-LH 半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器 產(chǎn)品概述:
1、精度更高,響應(yīng)更快,帶網(wǎng)口;
2、管狀分流,不易堵塞;
3、適用于各種低壓和高壓管道;
4、預(yù)熱時(shí)間短,零漂小,可靠性高;
5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量;
6、數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選;
二、產(chǎn)品應(yīng)用:
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細(xì)化工 / 電力冶金 / 環(huán)保
食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)
三、ACU20FD-LH 半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器 產(chǎn)品參數(shù):
量程范圍:2SCCM~300SLM
準(zhǔn) 確 度:±0.5%F.S
線 性:±0.5%F.S
重復(fù)精度:±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間:流量計(jì):<0.1s;流量控制器:<0.2s
數(shù) 字 量:RS232/485,MODBUS協(xié)議 (Profibus、Devicenet等協(xié)議可選)
模 擬 量:0~5V、4-20mA、1~5V
供 電:±15VDC,24VDC
工作溫度:0~50℃
工作壓降:<0.01Mpa(流量計(jì))
工作壓差:0.1~0.5Mpa (流量控制器)
耐 壓:3MPa/10MPa
漏 率:1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù):±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì):不銹鋼
封材質(zhì):氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,F(xiàn)FKM/FFPM,金屬密封等
接 頭:φ3,φ6,1/8",1/4",3/8",1/2"… …卡套、VCR等。。。
如果所需性能要求與上述性能不同,可以溝通定制。
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