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用戶需求:1.十路流量監(jiān)測(cè)與控制2.多用戶分級(jí)權(quán)限管理解決方案:通過質(zhì)量流量控制器和配氣箱相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)多路氣體的流量監(jiān)控及控制,系統(tǒng)支持快速啟動(dòng)/關(guān)閉全部流量,...
質(zhì)量流量計(jì)是基于流體質(zhì)量流量對(duì)振動(dòng)管振蕩的調(diào)節(jié)作用。傳感器由振動(dòng)管(測(cè)量管)、檢波器、振動(dòng)驅(qū)動(dòng)器、支撐結(jié)構(gòu)、外殼組成。質(zhì)量流量計(jì)發(fā)展很快,且日益完善,越來越顯示出其*性。各種質(zhì)量流量計(jì)已廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、商業(yè)計(jì)量和水利檢測(cè)等方面,例如,在...
質(zhì)量流量計(jì)廣泛應(yīng)用于各行業(yè)領(lǐng)域,如:工藝制造、食品分析、分析性測(cè)試與計(jì)量等。多變量測(cè)量以及50:1量程可調(diào)比,使得僅用一臺(tái)ACU10L液體流量控制器/流量計(jì)便可取代多臺(tái)設(shè)備的功效。質(zhì)量流量計(jì)的組成:包括傳感器、變送器和顯示單元三部分,傳感器...
從科研實(shí)驗(yàn)到工業(yè)制造,很多涉及氣體應(yīng)用的行業(yè)都可能會(huì)使用混合型氣體;而且在很多實(shí)際應(yīng)用中,需要進(jìn)行多種氣體定量混合配氣,將不同氣體按一定的比例混合到一起,配出不同濃度、多種組分的工藝氣體后才能更好的滿足工藝性能的要求。對(duì)于單一組分的氣體,選...
對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器MFC來說,在有些場(chǎng)景,例如半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè),分析儀器行業(yè),科研實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景等,需要對(duì)氣體進(jìn)行微流控制,使其流量很小,需要小于1SCCM,同時(shí)這種微流控制也需要較高的響應(yīng)時(shí)間,因?yàn)榱髁亢苄?,瞬間就會(huì)在氣路中通過所需的流量,所...
氣體是電子工業(yè)的“血液”,尤其在半導(dǎo)體、光伏、光纖、顯示器等行業(yè)中是關(guān)鍵性材料。例如,在集成電路制造中氣體的占比僅次于硅片,占晶圓制造成本的13%。主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。電子工業(yè)涉及的氣體品種繁多,用途五花八門,...
質(zhì)量流量計(jì)MFM、流量控制器MFC、以及電子壓力控制器EPC是精度較高的流量儀表,在科研、醫(yī)療、食品、半導(dǎo)體及各行業(yè)工業(yè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用的流量儀表產(chǎn)品是通過電流或電壓模擬信號(hào),或者數(shù)字通訊(Modbus、Devicenet,P...
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