當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 數(shù)控電子壓力控制器EPC > 高精度單閥壓力控制器 > ACU20PC-LH高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器
簡(jiǎn)要描述:高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器:-- ACU20P系列壓力控制器配備高性能傳感器和數(shù)字電路板,可提供更高精度和性能的壓力控制,-- 通過(guò)調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個(gè)工藝過(guò)程,除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外,還支持Profibus協(xié)議。
產(chǎn)品分類(lèi)
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一、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品特點(diǎn):
-- 標(biāo)配一個(gè)壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制,該P(yáng)C數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。
-- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號(hào),ACU20PCD還提供模擬量輸入/出信號(hào),可通過(guò)調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個(gè)工藝過(guò)程。
-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩(wěn)控制的特性。
二、應(yīng)用領(lǐng)域:
-- 半導(dǎo)體工藝,氣相和液相色譜儀,MOCVD過(guò)程中蒸汽壓力控制,擠塑成型過(guò)程中氣體壓力保護(hù)控制,高壓釜/反 應(yīng)釜壓力控制等。
三、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品參數(shù)列舉:
(如所需性能與下述性能參數(shù)不同,請(qǐng)溝通定制。)
技術(shù)參數(shù) | 精度(包括線(xiàn)性和滯后性) | ≤±0.5%F.S | |||
壓力量程比 | 壓力計(jì) | 1:100 | |||
壓力控制器 | 1:50 | ||||
重復(fù)性 | ≤0.1% | ||||
傳感器響應(yīng)時(shí)間 | 0.2s | ||||
控制穩(wěn)定性 | ≤±0.05%F.S(測(cè)定條件:1 L/min N2) | ||||
運(yùn)行溫度 | -10~+70℃ | ||||
溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ | ||||
漏率 | 1×10-9 SCCS He | ||||
方位影響度 (90°變化) | <0.03 KPa(絕壓/表壓傳感器) | ||||
<0.6 KPa(差壓傳感器) | |||||
預(yù)熱時(shí)間 | 忽略不計(jì) | ||||
機(jī)械部件 | 材質(zhì) | 不銹鋼 | |||
工藝連接 | G3/8" | ||||
密封材質(zhì) | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/聚四氟乙烯/全氟/乙丙橡膠其他 | ||||
防護(hù)等級(jí)(外殼) | IP40 | ||||
電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc | |||
數(shù)字輸出 | RS485/RS232、Profibus-DP協(xié)議、Devicenet協(xié)議等 | ||||
電氣連接 | DB9 |
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