質(zhì)量流量控制器(MFC)在控制氣體流量時,由于需要通過控制流量控制閥的開度實(shí)現(xiàn)流量控制,所以需要滿足一定的壓差條件(即其進(jìn)氣端壓力要比出氣端壓力大一定的數(shù)值),需要控制的流量越大,需要流量控制閥的開度就越大,這個壓差值就需要越大(即當(dāng)其出口端壓力接近大氣壓時,需要通過的流量控制器(MFC)的流量越大,那么就需要其進(jìn)氣壓力就越大)。
在一些應(yīng)用場景中,流量控制器(MFC)的出氣端會有一定的阻力(背壓),為了使流量控制器(MFC)能正常工作,那么就需要使其進(jìn)氣端壓力更高些,即保持一定的壓力差。
一般情況下,這種壓力差基本上會小于1Mpa,流量越小,所需的壓力差就越小,例如最大流量只有20升每分鐘時,所需的壓力差只需要0.1Mpa(即100Kpa)或者50kpa就足夠了。大部分流量控制器(MFC)生產(chǎn)制造商,都會使其產(chǎn)品在一個相對合理的壓差范圍內(nèi)工作。
但是,有些比較特殊的應(yīng)用,會需要很大的壓差,壓力差大于1Mpa,達(dá)到3Mpa、5Mpa甚至更高。這就需要一定的技術(shù)方案,特殊定制閥體性能,并且需要模擬實(shí)際壓力情況進(jìn)行標(biāo)定,當(dāng)然,首先要保證這種流量控制器的耐高壓性能(在質(zhì)量流量計行業(yè),一般把大于3Mpa的壓力記為高壓)。
我司產(chǎn)品已經(jīng)具備高壓差控制流量的性能,可以滿足高壓差的應(yīng)用,并且在壓差大幅度變化時也可以精確,穩(wěn)定的控制氣體流量。
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